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  • 光学镀膜机

HO-900DBI真空光学镀膜机

产品应用:适合在玻璃、塑料等材料质的工件上镀制多层光学膜:如增透膜、高反膜、滤光膜或者彩色装饰膜等,也适合在手机屏、平板电脑屏上镀AF、AS膜。

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特点
■60点/80点式光学膜厚监控
■使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
■利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
■工件架可选择钟罩式或行星式
■排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵


应用领域:
光学镀膜机适合镀制多种
光学镜头、汽车、电子产品、亚克力、相机、玻璃、灯具、手机屏幕、眼镜片、舞台灯光等,可镀制增透膜、滤光片、幻彩、红五彩、红、黄、绿、蓝等七彩颜色,可镀制多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面镀超硬膜。



型号 HO-900DBI
真空室 SUS304, φ900mm×1300mm (H)
工件架 φ 790mm
工件架转速 10 rpm to 30 rpm (可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式可选
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 10cm RF 离子源
排气系统 机械泵+1个扩散泵+Polycold(或1个冷凝泵)
达到压力 7.0 × 10-5Pa以下
排气时间 15 (大气压 1.3×10-3Pa)
排气时间 大气压至1.5×10--3Pa≤30min
基板温度 最高:350℃
尺寸 4500mm (W)×5500mm (D)×3200mm (H) approx.
电源  3相,200v,50/60Hz, 约80KVA
水流量 80升/分以上
空气压力 0.5MPa 以上
重量 约5400kg

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东莞汇驰真空制造有限公司

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