欢迎来到汇驰官网,汇驰是一家专业生产真空光学镀膜机、真空镀膜设备的厂家,品质保障,欢迎咨询!

prev next
  • 光学镀膜机

HO-1100DBI真空光学镀膜机

特点 ■60点/80点式光学膜厚监控 ■使用均匀分布的高离子电流密度的离子源 ■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上 ■利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程 ■工件架可选择钟

立即咨询
联系热线 13600283018

产品特点:
■60点/80点式光学膜厚监控
■使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
■搭载双电子枪,多点和环型坩埚可镀100层以上
■利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
■工件架可选择钟罩式或行星式
■排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵

应用领域:
光学镀膜机适合镀制多种光学膜。如望远镜、汽车、眼镜片、车载仪表盘、平板电脑、光学镜头、冷光杯等,配置不同的蒸发源及膜厚仪,可镀制多种膜系,对金属、氧化物、化合物及其他高熔点膜材皆可蒸镀,并可在玻璃表面镀超硬膜。


型号 HO-1100DBI
真空室 SUS304, φ1100mm×1520mm (H)
工件架 φ 950mm
工件架转速 10 rpm to 50 rpm (可变)
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围:350nm to 1100nm
反射式/透射式可选
水晶式膜厚计 XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源 电子枪2套
离子源 17cm RF 离子源
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold(或2个冷凝泵)
达到压力 7.0 × 10-5Pa以下
排气时间 15 (大气压 1.3×10-3Pa)
排气时间 大气压至1.5×10--3Pa≤30min
基板温度 最高:350℃
尺寸 5000mm (W)×6000mm (D)×3300mm (H) approx.
电源  3相,200v,50/60Hz, 约100KVA
水流量 120升/分以上
空气压力 0.5MPa 以上
重量 约7200kg

在线留言订购

留言订购
关于我们

东莞汇驰真空制造有限公司

东莞汇驰真空光学镀膜机制造有限公司,是一家中日合资企业,坐落于广东省东莞市虎门镇,汇驰专业从事研发、生产和销

在线咨询在线咨询
咨询热线 13600283018

13600283018