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真空配件
  • 特点
    ■适用于基板清洗或塑料基板的镀膜
    ■低能量、高电流,照射面积可达到φ 1200mm 以上
    ■最佳设计的冷却方式,大大提高了稳定性
  • 特点
    ■同使用灯丝型的离子源比较,寿命长,污染少。
    ■高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф800mm以上
    ■动作安定性高,能长时间运转
  • 特点
    ■新开发的特殊栅网,寿命长
    ■同使用灯丝型的离子源相比,寿命长,污染少
    ■高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1600mm以上
    ■动作安定性高,能长时间运转
  • 特点
    ■同使用灯丝型的离子源比较,寿命长,污染少。
    ■高离子电流密度和均匀分布,照射面积能达到Ф1150mm以上
    ■动作安定性高,能长时间运转